Более точное измерение содержания растворенного кислорода при производстве микроэлектроники

Компания МЕТТЛЕР ТОЛЕДО рассказала о том, как оптические датчики и трансмиттеры М800 могут помочь при измерении растворенного кислорода. Один из крупнейших производителей микроэлектронных компонентов в Азии столкнулся с проблемами при измерении содержания растворенного кислорода. На предприятиях для измерения РК использовали дорогостоящие системы, которым после технического обслуживания требовалось от трех до четырех дней для стабилизации показаний.

Компания провела оценку пригодности оптических датчиков растворенного кислорода МЕТТЛЕР ТОЛЕДО Thornton и трансмиттеров M800 для измерения содержания растворенного кислорода в системе водоподготовки сверхчистой воды.

При производстве микроэлектронных компонентов крайне важно получать точные данные о содержании растворенного кислорода. Требования к системе были высокими: малое время отклика, высокая чувствительность и простое техническое обслуживание. Компания МЕТТЛЕР ТОЛЕДО смогла не только выполнить, но и превзойти эти требования, предложив систему, включающую в себя оптические датчики растворенного кислорода и трансмиттеры M800. Оптические датчики растворенного кислорода не требуют поляризации, что обеспечивает быструю готовность системы к измерению. Трансмиттер M800 — это многоканальный, многопараметрический трансмиттер, который позволяет объединить измерения растворенного кислорода с измерениями других параметров.

Источник: Меттлер Толедо